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適用範圍

廣泛適用於各項精密要求之工業界,如粉末冶金,汽機車零件業,電子業界,精密齒輪....等。

  

各項定義

1. 開口數 (N.A=Numerical Aperture) 
開口數N.A是決定物鏡的分解能、焦點深度、影像的清晰等的重要條件。 
開口數N.A由下面的公式來表示,這個數值越大,能得到高解析影像,焦點深淺的像。
N.A.=n.Sinθ
n是物鏡頭部與工件之間的媒介的折射率。媒介是空氣的時候n=1.0。 
θ是通過物鏡最外側的光線與鏡頭中心主光軸之間的角度。
2.

分解能(R=Resolving power) 
能夠分辨點或者線之間的最小距離稱為分解能。
分解能(R)是由開口數N. A和波長λ來決定的。

3.

工作距離 (W.D=Working Distance) 
工作距離是指對焦後,從工件表面到物鏡頭之間的距離。 

4. 同焦距離
同焦距離是指對焦後,從工件表面到物鏡安裝位置之間的距離。
5. 無限遠補正光學系
使用物鏡與成像鏡頭組成的光學系統稱為無限遠補正光學系。
6. 有限補正光學系
由物鏡單獨組成的,在有限距離成像的光學系統稱為有限補正光學系。
7. 物鏡的焦點距離 (F=Focal Length的簡稱)和倍率的關係
物鏡的中心點到焦點的距離f1是物鏡的焦距,f2是成像鏡頭的焦距。放大倍率是由物鏡的焦距與成像鏡頭的焦距之比決定的。
8. 視野數 (F.N.=Field Number的簡稱)和實際視野
能夠觀察到的被檢物體的表面積是由接目鏡的視野光圈直徑決定的。這個大小用mm表示時被稱作視野數。實際視野數是實際上被物鏡放大了的物體面積。實際視野數由下面的公式算出:
(1) 顯微鏡可以觀察的被檢物的範圍 (直徑)
(2) TV監視器上觀察到被檢物的範圍
像素的大小   單位mm
形式 對角長 長邊(橫) 短邊(縱)
1/3 形式 6.0 4.8 3.6
1/2 形式 8.0 6.4 4.8
2/3 形式 11.0 8.8 6.6
9.

焦點深度 (D.F=Depth of Focus的簡稱)
顯微鏡對焦以後,對焦面的前後移動後還是可以得到鮮明的影像,這個移動範圍被稱為焦點深度。開口數越大,焦點深度越淺。與此相反的,焦點深度越深(開口數小),觀察範圍會擴大,即使存在微小的段差,也可以在同一個焦點下進行尺寸確認。人眼的調整能力存在個人誤差,人們感覺到的焦深也因人而異。現在焦深計算一般採用與實驗很一致的Berek公式。
實體顯微鏡等低倍率鏡頭的焦點深度很深,和照相機行業的景深為同義詞。

(1) 在接目鏡觀察的情況下(Berek的公式)

ω:眼的分解能 0.0014(眼的視角為5分)
M:綜合倍率(物鏡倍率x接目鏡倍率)

(2) 照片攝影的情況下(單獨使用物鏡)

10.

明視野照明和暗視野照明
明視野照明是為了觀察工件,通過物鏡的中心進行的垂直照明方法。暗視野是從物鏡的外圍對工件進行的照明方法(用傾斜於光軸的光線進行照明),沒有傷痕的平面部分顯得很暗淡,而把凹凸不平或者有傷痕的部分顯得很明亮,從而進行觀察。

11.

消多色差物鏡和消色差物鏡
消多色差物鏡是對3種顏色的光(紅、藍、黃)的色差做鏡頭的補正。
消色差物鏡是對2種顏色的光(紅、藍)的色差做鏡頭的補正。


功能

接上CCD攝影機將影像傳送到螢幕或電腦上,也可以二次元處理器或糧測軟體進行量測元素的運算。

實體顯微鏡因工作需求有固定倍率或可變倍率,光源,第三眼等多種搭配選擇。

 

工作原理

可利用同軸光降低表面量測的誤差