款式
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產品型號 | X 軸 | Z 軸(立柱) |
SV-C3200S4
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525-481C-1(0.75mN) |
100mm | 300mm |
SV-C3200H4
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525-482C-1(0.75mN) 525-482C-2(4mN) |
500mm | |
SV-C3200W4
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525-483C-1(0.75mN) 525-483C-2(4mN) |
||
SV-C3200S8
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525-486C-1(0.75mN) 525-486C-2(4mN) |
200mm | 300mm |
SV-C3200H8
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525-487C-1(0.75mN) 525-487C-2(4mN) |
500mm | |
SV-C3200W8
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525-488C-1(0.75mN) 525-488C-2(4mN) |
款式
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產品型號 | X 軸 | Z 軸(立柱) |
SV-C4500S4
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525-441C-1(0.75mN) |
100mm | 300mm |
SV-C4500H4
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525-442C-1(0.75mN) 525-442C-2(4mN) |
500mm | |
SV-C4500W4
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525-443C-1(0.75mN) 525-443C-2(4mN) |
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SV-C4500S8
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525-446C-1(0.75mN) 525-446C-2(4mN) |
200mm | 300mm |
SV-C4500H8
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525-447C-1(0.75mN) 525-447C-2(4mN) |
500mm | |
SV-C4500W8
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525-448C-1(0.75mN) 525-448C-2(4mN) |
適用軟體:FORMTRACEPAK
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特色
▲可作上下雙向測量(僅SV-C4500)。
▲測定臂磁吸式設計,增加使用安全性。
Z1軸(輪廓)
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量測壓力
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解析度
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指示精度
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SV-C3200
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30mN
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0.04μm
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±(1.6+∣2H∣/100)μm
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SV-C4500
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10、20、30、40、50mN
軟體Formtracepak擇一設定 |
0.02μm
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±(0.8+∣2H∣/100)μm
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H:Z1軸(檢出部)從水平位置測定的高度(mm)
▲最高等級的指示精度。Z1軸搭載了高精度圓弧光學尺,縮小由測針前端造成的圓弧軌道所產生的誤差,實現了高精度、高分解能的測量。
X軸(表粗驅動部)
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真直度
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S4、H4、W4
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(0.05+0.001L)μm,L:驅動長度(mm)
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S8、H8、W8
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0.5μm/200mm
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X軸(輪廓驅動部)
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指示精度
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真直度
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S4、H4、W4
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±(0.8+0.01L)μm,L:驅動長度(mm)
廣範圍:1.8μm/100mm 狹範圍:1.05μm/25mm |
0.8μm/100mm
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S8、H8、W8
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±(0.8+0.02L)μm,L:驅動長度(mm)
廣範圍:4.8μm/200mm 狹範圍:1.3μm/25mm |
2μm/200mm
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▲X軸(驅動部)搭載光學尺,全行程高精度量測。(SV-C3200、SV-C4500皆然)
▲組合了兩側圓錐測針,能夠連續測量上下面(僅SV-C4500)。
▲上下面連續測量的資料,可以簡單解析以往難以量測的螺絲有效徑(僅SV-C4500)。
▲”Z1軸的增益“、”對稱性“、”上下兩側圓錐測針半徑“等繁瑣的校正作業,得以一次完成(僅SV-C4500)。
▲Formtracepak軟體可設定測定力(五階),不需手動變換重量、調整配重位置,並能追蹤傾斜姿勢(僅SV-C4500)。
▲更快的移動速度,縮短總測量時間,提升測量效率。
▲新設計擴大Z1軸(檢出器)的測定範圍,也減少作業中的干涉。
▲測定臂以磁性接頭銜接至主機,並配有安全裝置,可輕鬆更換測定臂。
▲因應高速度的量測 ,檢出器、驅動部等配線,全部設計在機體內,避免干擾量測。
輪廓測定部
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表面粗度測定部
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▲搭配各種微動裝置,簡單決定量測位置,可進行傾斜面、小孔測定等作業。
θ1旋轉裝置: 自動測定圓周上的形狀 |
θ2旋轉裝置: 複數斷面自動連續測定 |
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規格
粗度部分:
Z1軸(檢出器)
量測範圍 |
800 μm
80μm 8μm |
檢出器測定方法
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差動感應
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檢出器解析度
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0.01/800μm
0.001/80μm 0.0001/8μm |
檢出器測針尖端
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-1:60°、半徑2μm
-2::90°、半徑5μm |
檢出器測定壓力
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-1:0.75mN
-2:4mN |
X軸驅動部
量測速度 |
0.02~5mm/s
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X軸驅動部
移動速度 |
0~80mm/s、手動
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X軸驅動部解析度
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0.05μm
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Z2軸移動速度
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0~20mm/s、手動
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Z2軸解析度
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1μm
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粗度規格
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JIS1982 / JIS1994 / JIS2001 / ISO1997 / ANSI / VDA
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參數
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Ra、Rq、Rsk、Rku、Rp、Rv、Rz、Rt、Rc、RSm、R△q、Rm(rC)、Rmr、Rσc、Ry、RyDIN、RzDIN、R3y、R3z、Pa、Pq、Psk、Pku、Rp、Rv、Pz、Pt、Pc、PSm、P△q、Pm(rC)、Rmr、Rσc、Wa、Wq、Wsk、Wku、Wp、Wv、Wz、Wt、Wc、WSm、W△q、Wm(rC)、Wmr、Wσc、Wx、AW、W、Wte、S、HSC、Lo、Ir、△a、λa、、λq、Vo、Htp、NR、NCRX、CPM、SR、SAR、NW、SW、SAW
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評估曲線
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原始曲線、粗度曲線、封包殘餘曲線、濾波波紋曲線、頻帶曲線、波紋曲線、滾圓波紋曲線、粗度MOTIF、波紋MOTIF、DIN4776曲線
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圖形
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振福分佈圖、BAC1、BAC2、能量波譜曲線、自動相關曲線、傾斜角度分佈曲線、峰值分佈曲線、參數分佈曲線
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資料補正
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傾斜補正、R面補正、橢圓補正、拋物線補正、雙曲螺線補正、多項式曲線補正、圓錐自動補正、多項式曲線自動補正
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數位濾波器
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高斯濾波器、2CRPC75、2CRPC75、2CR75、2CR50、robust spline濾波器
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擷取長度
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λc(mm):0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8、25、80、任意
λs(μm):0.8、2.5、8、25、80、250、800、0.25、任意 |
輪廓部分:
一、測定範圍 | |
Z1軸
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60mm(水平狀態±30mm)
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二、檢出器(Z1軸)
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測長裝置
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圓弧光學尺
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測針作動
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圓弧上下運動
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測定方向
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拉、推兩種方向
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測定面方向
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上、下兩種方向(單獨測定)
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量測壓力
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10、20、30、40、50mN(使用軟體Formtracepak設定)
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測針角度限制
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上升:77°、下降:83°(使用標準附屬品的片角測針時)
依工件表面性質而定 |
三、驅動部
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測長裝置
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X軸:分離式線性規
Z2軸(立柱):ABS光學尺 |
解析度
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X軸:0.05μm
Z2軸(立柱):1μm |
驅動速度 |
X軸:0~80mm/s、手動操作
Z2軸(立柱):0~30mm/s、手動操作 |
測定速度
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X軸:0.02~5mm/s
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傾斜角度
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±45°
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尺寸
S4、H4、W4機種(X軸行程100mm),SV-C3200、SV-C4500皆然
機種
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H1 | H2 | H3 | W1 | W2 |
S4
|
966
|
854
|
100
|
438
|
600
|
H4 | 1166 | 1054 | |||
W4 | 1167 | 110 | 838 | 1000 |
S8、H8、W8機種(X軸行程200mm),SV-C3200、SV-C4500皆然
機種
|
H1 | H2 | H3 | W1 | W2 |
S8 |
966
|
854
|
100
|
438
|
600
|
H8 | 1166 | 1054 | |||
W8
|
1167 | 110 | 838 | 1000 |
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